2024-10-17
하모닉 드라이브는 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 높은 정밀도, 낮은 반작용, 컴팩트 디자인 및 높은 신뢰성,하모닉 드라이브는 반도체 장비의 필수 부품이 되었습니다.웨이퍼 전송과 사진 리토그래피에서 에치, 포장 및 검사까지, 하모닉 드라이브는 정확한 모션 제어,반도체 제조업의 생산 효율성 향상 및 제품 품질 보장.
웨이퍼 전송 장비
반도체 제조에서 웨이퍼 전송 장비는 매우 정확하고 안정적인 운동 제어가 필요합니다.웨이퍼 전송 및 처리 로봇에 널리 사용됩니다.이 로봇들은 좁은 공간에서 효율적이고 정확하게 웨이퍼를 전송해야 하며, 하모닉 드라이브는 부드럽고 진동이 없는 움직임을 보장합니다.
사진 리토그래피 기계
사진 리토그래피 기계는 반도체 제조에서 매우 높은 정밀도를 필요로 하는 중요한 장비입니다.하모닉 드라이브는 포토 리토그래피 기계의 정렬 시스템 및 스캔 플랫폼에 널리 사용됩니다.이 정밀도는 웨이퍼에 있는 패턴의 정확한 정렬과 노출을 보장하며, 칩 제조 품질과 생산량을 향상시킵니다.
에칭 장비
에칭 장비는 웨이퍼 표면에 작은 회로 구조를 만드는 데 사용되며, 프로세스 매개 변수에 대한 극도로 정확한 통제가 필요합니다.이러한 장치의 하모닉 드라이브는 정밀 운동 구성 요소를 구동하여 에칭 프로세스의 안정적이고 균일한 통제를 보장합니다., 높은 프로세스 정확성을 보장합니다.
검사 및 측정 장비
반도체 생산 도중, 검사 및 측정은 제품 품질을 보장하는 데 매우 중요합니다. 예를 들어 웨이퍼의 표면 검사 시스템, 두께 측정 장치,및 전기적 특성을 검사하는 장치이 모든 작업은 매우 정확한 동작 제어가 필요합니다. 하모닉 드라이브의 높은 반복성은 이러한 검사 시스템의 정확성과 신뢰성을 보장합니다.
진공 환경 응용 프로그램
웨이퍼 코팅 및 퇴적과 같은 특정 반도체 프로세스는 고 진공 환경에서 수행되어야합니다.그리고 기름유유가 필요없이 작동할 수 있는 능력, 하모닉 드라이브는 진공 환경에 특히 적합합니다. 이것은 진공 처리 장비에서 널리 사용되도록합니다.
포장 장비
반도체 포장 장비는 칩을 운반기에 포장하는 데 사용되며 빠르고 정확한 작업이 필요합니다.하모닉 드라이브의 높은 동적 반응 및 낮은 역반응 특성으로 포장 장비의 복잡한 기계적 움직임에 대한 정확한 제어가 가능합니다., 포장 과정에서 높은 효율성과 높은 수익을 보장합니다.
닦기 및 밀링 장비
웨이퍼 제조의 백엔드 프로세스에서는 닦기 및 밀링이 결정적인 단계입니다. 하모닉 드라이브는 이러한 장치에 대한 고정밀, 고토크 모션 컨트롤을 제공 할 수 있습니다.닦기 및 밀링 과정에서 기계적 정밀성을 보장합니다., 웨이퍼의 평면성과 표면 품질을 향상시킵니다.
자동 생산 라인에서의 응용
하모닉 드라이브는 로봇 팔, 컨베이어 벨트 및 조립 장비를 포함한 자동 반도체 생산 라인의 다양한 단계에서 사용됩니다.그 효율성과 신뢰성은 생산 라인 전체의 자동화 수준을 향상시킵니다., 수동 개입 및 오류율을 줄입니다.
문의사항을 직접 저희에게 보내세요
